溝幅： 100um
深さ： 40um
スキャン回数： 250回
溝のエッジ部は、熱影響が少なく加工が出来ています。
溝の底面も滑らかな状態であります。
上面
上面（拡大）
穴径： φ0.2mm
厚み： ｔ=0.1mm
スキャン回数： 50回
タングステン箔に対して、微細な穴が加工できており、
熱影響は最低限に抑えております。
