製品案内

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266nmピコ秒ハイブリッドレーザー

LDH-X0300

  • 特長・機能
  • 仕様

LDH-X0300は、新開発の平均出力2Wピコ秒266nmパルスレーザー発振器です。

特長
高パルスエネルギー

弊社独自技術により、ファイバレーザーとバルクレーザーの技術を融合し、>20μJ@100kHz(30μJ@50kHz) の高いパルスエネルギーを実現しました。
上記のハイブリッド構成により、高い安定性と信頼性を実現しております。

*更に高いパルスエネルギーが必要な場合、ご相談ください。

高効率波長変換を実現したピコ秒パルス

機構内にバルクアンプを採用し、DFB半導体レーザで発生させた狭スペクトル幅のピコ秒パルスを、形状維持したまま増幅させています。これによって、非線形光学素子を利用したピコ秒パルスの波長変換で問題となっていたスペクトル許容幅を満たすことができ、高効率な波長変換が可能なピコ秒パルスを実現しました。

高品位微細加工を実現する短波長と短パルス

上記方式において基本波のパルス幅を50psに設定することで産業用途で求められる長期安定性を深紫外域で実現しました。

266nm深紫外ピコ秒レーザーは、 光吸収特性が高く、赤外・可視レーザーでは困難であった素材への加工が可能です。
さらには、超短パルス幅(<50ps)により、高品位な微細加工を実現します。
様々な素材への加工を実現しますが、特にガラス系やポリマー系の素材への加工用途で高い能力を発揮します。

ビーム特性
波長 266nm
平均出力 >2W@100kHz
繰り返し周波数 50kHz~1000kHz
パルス幅 <50ps
ビーム径 φ2.2mm±0.5mm
拡がり角 ≤1.0mrad (全角)
モード品質 M2<1.5
空間モード TEM00

1 性能保証環境温度安定性・・・動作保証温度範囲内±1℃

※本仕様は予告なく変更される場合があります。ご購入時に必ずご確認ください。

システム構成
レーザヘッド W458 x D(1150) x H141mm 57kg
レーザコントローラ W430 x D(394) x H(155)mm 11kg
冷却方式 レーザーヘッド(水冷)、コントローラー(空冷)
供給電源 AC 100 to 240 V +/- 10 %, 50/60 Hz
消費電力 最大 1.5kW
動作保証温度 15 ~ 30 ℃ *1
保管温度 0 ~ 50 ℃
湿度(動作時・保管時共) 10 ~ 85 %

1 性能保証環境温度安定性・・・動作保証温度範囲内±1℃

※本仕様は予告なく変更される場合があります。ご購入時に必ずご確認ください。

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