製品案内

  • 非熱加工
  • サンプル加工可
  • 新製品
  • EU RoHS対応
  • CE準拠

532nmピコ秒ハイブリッドレーザー

LDH-G5D10

  • 特長・機能
  • 仕様

LDH-G5D10は平均出力5Wの微細加工用ピコ秒グリーン(532nm)レーザーです。
産業用レーザーとして求められる信頼性と安定性を両立するため、自社開発/製造にこだわりました。半導体レーザー、ファイバレーザー、バルクレーザーを組み合わせたハイブリッドレーザーで、短いパルス幅と高いビーム品質を高出力下で実現し、高スループットの微細加工用途で高い能力を発揮します。

特長
種光源に半導体レーザーを使用し、構成部品から劣化部品を低減

モード同期法を用いたピコ秒レーザーの場合、2~3年毎に部品劣化による種光源の定期交換が必要だったため、長期運用には多額のランニングコストが必要でした。
LDH-G5D10では種光源にDFB半導体レーザーのゲインスイッチ法を採用し、更にすべての励起用半導体レーザーに信頼性の高いシングルエミッタタイプを採用しました。このため長期運用においてランニングコストを従来より安価に抑えることが出来ます。

高スループットで高品位な加工を実現

LDH-G5D10はビーム品質 M2<1.3@200kHzを誇り、パルス幅<15ps、パルスエネルギー >25μJ@200kHzを合わせ持ち、効率的で高品位な非熱加工を実現します。
生産ラインに組み込むことも可能です。ご相談ください。

高効率波長変換を実現したピコ秒パルス

機構内にバルクアンプを採用し、DFB半導体レーザーで発生させた狭スペクトル幅のピコ秒パルスを、形状維持したまま増幅させています。これによって、非線形光学素子を利用したピコ秒パルスの波長変換で問題となっていたスペクトル許容幅を満たすことができ、高効率な波長変換が可能なピコ秒パルスを実現しました。
CLBO結晶を用いた第4、第5高調波(266nm、213nm)やその他の深紫外レーザーへの波長変換に真価を発揮します。
レーザー加工や検査用途などに利用されるWオーダの深紫外レーザー発生に最適です。

ビーム特性
波長 532nm
平均出力 >5W@200kHz
繰り返し周波数 200kHz ~ 1000kHz
パルス幅 <15ps
ビーム径 φ3.0 ±0.5mm
拡がり角 ≦0.4mrad (全角)
モード品質 M2<1.3
空間モード TEM00
偏光方向 直線

1 性能保証環境温度安定性・・・動作保証温度範囲内±1℃

※本仕様は予告なく変更される場合があります。ご購入時に必ずご確認ください。

システム構成
レーザヘッド W518 x D(884) x H170mm 64kg
レーザコントローラ W430 x D(394) x H(192)mm 13kg
冷却方式 レーザーヘッド(水冷方式)、コントローラー(空冷方式)
供給電源 単相 AC 100 ~ 240V ± 10 %, 50/60 Hz
消費電力 最大 1.5kW
ウォームアップ時間 コールドスタート時 60min (typ.) 、ウォームスタート時 15min (typ.)
動作保証温度 15 ~ 30 ℃ *1
保管温度 0 ~ 50 ℃
湿度(動作時・保管時共) 10 ~ 85 % RH 結露無きこと

1 性能保証環境温度安定性・・・動作保証温度範囲内±1℃

※本仕様は予告なく変更される場合があります。ご購入時に必ずご確認ください。

製品案内カタログ、CAD図面、取り扱い説明書等はこちらから

関連資料ダウンロード

製品に関するお問い合わせはこちらから