• 非熱加工
  • サンプル加工可

266nmピコ秒ハイブリッドレーザ

仕様

ビーム特性

波長 266nm(DUV)
平均出力 >8W
繰り返し周波数 200kHz~1000kHz
パルス幅 <15ps
ビーム径 φ4.5mm±0.5mm
拡がり角 <0.5mrad (全角)
空間モード TEM00
偏光方向 直線

※本仕様は予告なく変更される場合があります。ご購入時に必ずご確認ください。

システム構成

レーザヘッド W1200 x D420 x H170mm 92kg
レーザコントローラ W430 x D351 x H192mm 13kg
冷却方式 レーザヘッド（水冷）、コントローラ（空冷）
供給電源 AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
消費電力 最大 2.5kW
ウォームアップ時間 コールドスタート時 60min (typ.) 、ウォームスタート時 15min (typ.)
動作保証温度 15 ~ 30 ℃ *1
保管温度 0 ~ 50 ℃
湿度（動作時・保管時共） 10~ 85%RH 結露無きこと

∗1 性能保証環境温度安定性・・・動作保証温度範囲内±1℃

※本仕様は予告なく変更される場合があります。ご購入時に必ずご確認ください。

特長・機能

LDH-X0810は、SPX独自のLD-GS方式により実現した世界唯一の266nm８Wピコ秒レーザです。

266nm波長はあらゆる材料への光吸収率が高く加工難易度の高いガラスや樹脂などの透明材料や複数の材料が混ざった複合材の加工にも適しており、今までに無い高品質な加工を可能にしました。

 

高パルスエネルギー

パルススプリットモード

マルチパルスモード

加工事例一覧

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