事業領域
半導体及び実装基板、半導体製造・検査装置、電子部品の微細加工等(主に穴あけやパターニング)に使用されるレーザ装置に光源として各波長:深紫外(DUV:266nm)・紫外(UV:355nm)・グリーン(532nm)のピコ秒レーザ発振器を提供しております。また装置化に必要な光学系の提案、開発、販売も行っています。
スペクトロニクスの強み
Made in Japan×LD-GS(ダイレクトドライブレーザ)×加工提案
企業Missionに「先進レーザ技術で産業の革新に貢献する」を掲げ、産業用超短パルスレーザ日本唯一のMade in Japanメーカとして国内でのレーザ発振器開発、生産、販売、アフターサービスに注力をしております。
ピコ秒紫外/深紫外レーザは、微細化が進む半導体周辺や電子部品等におけるシングルミクロンクラスの加工や、可視レーザでは難しいとされてきたセラミックスやガラス等の脆性材や透明体加工の新工法として高い注目を集めております。
当社は、これまで長期信頼性が求められる産業用途では実現が難しいと言われてきた深紫外レーザを超短パルス(15ps)深紫外(266nm)の量産装置として世界で初めて上市するなど、世界トップクラスの技術力を有しております。
スペクトロニクス製レーザ発振器の特長は優れた制御性と、高い加工性と高品位の加工の両立を実現していることです。加えて、長寿命であることからメンテナンスコストやダウンタイムが低減されており、量産装置としての導入後ランニングコスト削減にも貢献いたします。
これらの特長を実現可能にしているのが以下3つのブレークスルー技術の確立により生まれた「LD-GS方式」*1です。
- ダイレクトドライブレーザ:任意のタイミングでピコ秒パルスの発生が可能な半導体レーザ光源
- 波長変換時の結晶ダメージを抑える狭線幅でありながら高出力化を実現したファイバ・固体併用のハイブリッド増幅器
- 高出力と長寿命を両立する高純度結晶を用いた紫外/深紫外波長変換器
また当社では加工ラボを保有し装置開発に必要となる加工条件をお客様と共同で検証する体制を整えており積極的な加工提案を行うことでレーザ加工システムの開発をサポートしております。更にレーザ発振器周辺の光学部品の提案も行いトータルでのレーザ加工システムを構築からバックアップしております。
(*1) LD-GS(Laser Diode Gain Switching)方式:半導体レーザの緩和振動現象で光ピコ秒パルスを得る方法