“世界最高出力の高繰り返し深紫外ピコ秒パルスレーザー” の記事が「光アライアンス 10月号」に掲載されました‼

2019年10月04日

お知らせ

“光技術の融合と活用のためのガイドブック ”「光アライアンス」の10月号に、スペクトロニクスが

NEDOプロジェクトの委託事業で開発中の世界最高出力50W級深紫外(266nm)ピコ秒パルスレーザー

の記事が掲載されました！

掲載記事では、高出力、高繰り返し、短波長のピコ秒レーザーが次世代の微細加工を担う国産レーザー

光源として、加工品質、生産性に対する優位性を紹介。

また、開発経過で波長266nm/10W機の長期連続運転の成功事例を挙げ、高い信頼性が確認。
その過程の仕組みや工夫についても紹介されています。

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