Laser eye's

Challenge

窒化アルミ(t=450μm)にストレート穴を加工しました!

窒化アルミ(t=450μm)にストレート穴を加工しました!

 

スペクトロニクスでは多数あるお客様の加工仕様へのご要望から、ストレート穴加工にも注力しており、独自方式のビームローテータを使用することで、ストレート穴加工にチャレンジしました。
ピコ秒レーザでの微細加工の対象素材としては、比較的板厚が厚いとされる450μmの窒化アルミに、ほぼストレート状の穴あけに成功しました。

 

まだ、開発段階の光学ツールですが、テーパーレス加工に有効であることが証明されました。今後、生産ツールとして使用できるよう、検証を進めたいと考えております。

 

■加工検証内容
◇対象素材
 窒化アルミ(ALN)  厚さ:450μm 色:薄茶褐色
◇使用レーザ発振器
 LDH-G0610(532nm/15ps/6W@200kHz)
◇加工光学系
 オリジナルビームローテータとガルバノスキャナ光学系(f=46mm)
 理論スポットサイズ Φ12.45μm
◇照射方法
 位相角を調整し、穴あけ後の母材側の断面をストレート形状になるよう設定
◇結果
 照射側穴径 181.97μm
 出口側穴径 181.25μm
 加工時間  56sec/穴
◇加工後サンプル画像

 

 

※安定してストレート穴の加工が可能でした。
 次回は他の材料にもチャンジしてみます。

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