challenge
窒化アルミ（t=450μm）にストレート穴を加工しました！
スペクトロニクスでは多数あるお客様の加工仕様へのご要望から、ストレート穴加工にも注力しており、独自方式のビームローテータを使用することで、ストレート穴加工にチャレンジしました。
ピコ秒レーザでの微細加工の対象素材としては、比較的板厚が厚いとされる450μmの窒化アルミに、ほぼストレート状の穴あけに成功しました。
まだ、開発段階の光学ツールですが、テーパーレス加工に有効であることが証明されました。今後、生産ツールとして使用できるよう、検証を進めたいと考えております。
■加工検証内容
◇対象素材
窒化アルミ（ALN） 厚さ：450μm 色：薄茶褐色
◇使用レーザ発振器
LDH-G0610（532nm/15ps/6W@200kHz）
◇加工光学系
オリジナルビームローテータとガルバノスキャナ光学系（f=46mm）
理論スポットサイズ Φ12.45μm
◇照射方法
位相角を調整し、穴あけ後の母材側の断面をストレート形状になるよう設定
◇結果
照射側穴径 181.97μm
出口側穴径 181.25μm
加工時間 56sec/穴
◇加工後サンプル画像
※安定してストレート穴の加工が可能でした。
次回は他の材料にもチャンジしてみます。
