Siウエハの穴あけの加工事例

加工概要と特長

穴あけ 表穴径:50 μm 裏穴径:20 μm

クラックがなく、また熱影響が小さくきれいなエッジとなっています。

加工素材

Siウエハ 280 μmt

加工に使用した製品
デモルームのご案内

スペクトロニクス製品を使用した加工実験が可能です。