Siウエハの穴あけの加工事例

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加工概要と特長

穴あけ　表穴径：50 μm　裏穴径：20 μm

クラックがなく、また熱影響が小さくきれいなエッジとなっています。

加工素材

Siウエハ　280 μmt

加工に使用した製品
LDH-V1610

当社デモルームにて、製品導入のための加工検証が可能です。詳細はお問い合わせください。