Siウエハの穴あけの加工事例

加工概要と特長

穴あけ 表穴径:50 μm 裏穴径:20 μm

クラックがなく、また熱影響が小さくきれいなエッジとなっています。

加工素材

Siウエハ 280 μmt

加工に使用した製品

当社デモルームにて、製品導入のための加工検証が可能です。詳細はお問い合わせください。