加工実績

Siウエハの穴あけ | 超短パルス/ピコ秒レーザー|レーザー発振器のスペクトロニクスの加工実績

加工概要と特長

穴あけ 表穴径:50 μm 裏穴径:20 μm

クラックがなく、また熱影響が小さくきれいなエッジとなっています。

加工素材

Siウエハ 280 μmt

加工仕様

Siウエハの穴あけ

加工に使用した製品
LDH-V1610
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