ガラス基板上のAu膜のパターニングの加工事例

加工概要と特長

Au膜厚：100nm

加工エリア：500μm×500μm　間隔：300μm

外部AOMとの同期により、1μsの時間分解能でパルスのON/OFFをコントロールしています。

AOM制御について詳しくはこちらの投稿をご覧ください。

加工素材

ガラス基板上のAu膜

加工に使用した製品
LDHｰG0610
デモルームのご案内

スペクトロニクス製品を使用した加工実験が可能です。